+8613468653914

Hverjir eru kostir sílikon resonant þrýstingsskynjara samanborið við aðrar gerðir?

Dec 31, 2025

Kísilómunarþrýstingsnemar skera sig úr á sviði mikillar-nákvæmnimælinga vegna einstakrar meginreglu þeirra um þrýstings-tíðnibreytingar og eiginleika kísil-efna. Hins vegar, samanborið við aðrar tegundir skynjara (eins og piezoresistive, rafrýmd, piezoelectric, titringsvír, osfrv.), Kostir þeirra stafa hins vegar af mismunandi tæknilegum meginreglum og burðarvirkjum. Sérstakur samanburður er sem hér segir:

1.Kostir nákvæmni á meginreglustigi

٭ Þrýstings-tíðniviðnám með eðlislægri hávaðaviðnám: Gefið út stafræn merki (tíðnimagn) beint í gegnum tíðnibreytingar kísilómunarbyggingarinnar, forðast hliðrænar-í-stafrænar umbreytingarvillur, merkjamögnunarhávaða og langa-vírsendingartap með hefðbundnum rafhlöðum (pieacizo-merkjatap) breytingar) skynjara. Tíðnimerkið hefur ákaflega sterka rafsegultrufluviðnám (eins og viðnám gegn útvarpstruflunum upp á 100V/m) og nákvæmni getur náð 0,01%FS (á meðan piezoresistive skynjarar hafa venjulega nákvæmni frá 0,1%FS til 0,5%FS).

٭ Frábær línuleiki og endurtekningarnákvæmni: Streitu-tíðnisvarslínuleiki kísilómunarbyggingarinnar er meiri en 0,9999, og ólínuleg villa er minni en 0,01%FS, mun betri en rafrýmd skynjara (með ólínulegri villu sem er um það bil 0,1%FS) krefjast ólínulegrar villu{4}fjarlægðra og til að leiðrétta ólínuleika).

2.Efnis- og byggingarstöðugleiki

٭ Hitaeiginleikar kísilefna-: Hitastuðull kísils er afar lágur (2,6×10⁻⁶/gráðu) og teygjustuðullinn breytist lítið með hitastigi (breytingin á bilinu -50 gráður til +125 gráður er minni en 5%). Með hönnun á samhverfum tvöföldum resonators (hitastigsmunarjöfnun) er hægt að minnka hitastigið niður í 1×10⁻⁶/gráðu, sem gerir mikla nákvæmni bætur kleift án þess að þörf sé á viðbótarhitaskynjara (hitastig piezoresistive skynjara er venjulega meira en 100×10⁻⁶/gráðu).

٭ Föst-ástand án hreyfanlegra hluta: Samþætt ómgeisla/þind uppbygging framleidd með MEMS tækni hefur engin vandamál með vélrænni snertingu eða öldrun þéttinga. Árlegt rek er minna en 0,01%FS (árlegt rek titringsvíranema er um 0,05%FS, og rafrýmdra skynjara er enn hærra), sem gerir það hentugt fyrir stöðuga vöktun til lengri tíma (-til dæmis þarf lofthjúpsgagnakerfi flugs að starfa áreiðanlega í áratugi).

3.Stafræn framleiðsla og greindur eiginleikar

٭ Bein stafræn merkjaútgangur: Hægt er að safna tíðnimerkinu beint af örgjörvanum án þess að þörf sé á flóknum merkjameðferðarrásum, sem einfaldar hönnun kerfisins og dregur úr hættu á hávaðainnleiðingu (aftur á móti þurfa piezoresistive skynjarar aðlögun að ADC hringrásum og eru viðkvæmir fyrir hávaða aflgjafa).

٭ Á-sjálfsflögu-kvörðunargetu: Innbyggður-MCU eða ASIC getur náð krafti-á sjálfs-sjálfskoðun og reglulegri sjálf-kvörðun (eins og að bera saman við kvarsviðmiðunartíðni), leiðrétta sjálfkrafa langtíma-kvörðun án nettengingar án þess að þörf sé á handvirkri kvörðun án nettengingar).

4.Kvik svörun og upplausn

٭ Hátt Q gildi og mikil upplausn: Tómarúmpökkun (loftþrýstingur < 10⁻³Pa) gefur ómanum gæðastuðulinn Q > 10.000 og þrýstingsupplausnin getur náð 0,001hPa (0,1Pa), sem er hentugur til að mæla litlar þrýstingsbreytingar (svo sem að greina lóðrétta upplausn andrúmsloftsins) 1hPa) og rafrýmd skynjara (með upplausn um 0,1hPa).

٭ Breitt kraftmikið svið: Með burðarvirkishönnun getur það náð yfir bilið frá ör-þrýstingi (0~1kPa) til miðlungs-háþrýstings (0~10MPa), og viðhaldið mikilli nákvæmni innan alls sviðsins (fyrir hefðbundna skynjara, því breiðari svið, því augljósari er minnkun á nákvæmni).

Kjarni kostir sílikon resonant þrýstingsskynjara liggja í "mikilli nákvæmni, miklum stöðugleika og stafrænum eiginleikum". Tæknilega séð er kjarninn að breyta þrýstingsmælingarvillunni úr "villum í fjöl-hliðrænni merkjakeðjunni" yfir í "villur í einni tíðnimælingu" í gegnum "kísil-undirstaða ómunabyggingar + þrýstings-tíðnibreytingar", og ná villubælingu með hagræðingu á heildartengli efna, burðarvirkja.

Hringdu í okkur